2月24日晚，中微公司發布2020年業績快報。2020年，中微公司實現營業收入22.73億元，同比增長16.76%；歸母凈利潤4.92億元，同比增長161.02%；扣非后歸母凈利潤2331.94萬元，同比減少84.19%。

中微公司表示，受益于半導體設備市場發展及公司產品競爭優勢，公司2020年刻蝕設備收入達到12.89億元，同比增長約58.49%；由于市場原因，公司2020年MOCVD設備收入為4.96億元，同比下降約34.47%。

此外，公司2020年投資青島聚源芯星股權投資合伙企業（有限合伙）3億元而間接持中芯國際科創板股票，因中芯國際股價變動導致公司產生公允價值變動收益約2.62億元。公司2020年獲得的政府補助比2019年增加2.26億元。

中微公司解釋，扣非后歸母凈利潤同比減少84.04%，主要因為公司2020年因實施股權激勵計劃產生股份支付費用約1.24億元（屬于經常性損益），2019年無該類費用發生。若剔除股份支付費用的影響，2020年扣非歸母凈利潤約為1.47億元，同比約減少0.43%。