12月28日晚間，半導體企業中微公司公告，擬對睿勵科學儀器（上海）有限公司（下稱“上海睿勵”）進行增資，以現金方式投資1億元，認購上海睿勵新增注冊資本8333.33萬元，認購單價為1.2元/股（注冊資本）。上述交易完成后，上海睿勵注冊資本增加至428億元，公司持股比例為20.4467%。

公告顯示，上海睿勵成立于2005年6月27日，注冊資本約3.45億元，致力于集成電路生產前道工藝檢測領域設備研發和生產，是國內少數幾家進入國際領先的12英寸生產線的高端裝備企業之一，并且是國內唯一進入某韓國領先芯片生產企業的國產集成電路設備企業。本次增資，上海睿勵的投前估值為4.1353億元人民幣。

上海睿勵主營的產品為光學膜厚測量設備和光學缺陷檢測設備，以及硅片厚3度及翹曲測量設備等。上海睿勵自主研發的12英寸光學測量設備TFX3000系列產品，已應用在65/55/40/28納米芯片生產線并在進行了14納米工藝驗證，在3D存儲芯片產線支持64層3DNAND芯片的生產，并正在驗證96層3DNAND芯片的測量性能。

上海睿勵應用于LED藍寶石襯底圖形檢測的自動光學檢測設備，也已成功銷售到眾多國內LEDPSS襯底和LED芯片生產線。

上海睿勵正在開發下一代可支持更高階芯片制程工藝的膜厚和OCD測量設備以及應用于集成電路芯片生產的缺陷檢測設備，進一步擴大可服務的市場規模。截止2020年11月30日，上海睿勵擁有專利87項，軟件著作權39項，注冊商標8項，作品著作權1項及備案域名2項。

中微公司表示，本次投資上海睿勵將使公司能夠布局集成電路工藝檢測設備領域。此外，中微公司同上海睿勵的客戶和供應商有高度重疊，通過本次投資，能進一步形成產業鏈協同效應。本次投資構成關聯交易，但未構成重大資產重組。