只有1.5毫米大小的智能灰塵、微型AI殺人蜂（無人機）、精巧的AirPods Pro，所有這一切的高科技產品和新應用，都離不開一個小器件——MEMS智能傳感器。11月24日，第三屆中國MEMS智能傳感器產業發展大會在安徽省蚌埠市舉行。在本次大會上，來自蘇州明皜（蘇州固锝參股子公司）、大立科技、賽迪顧問等的業內人士介紹了MEMS智能傳感器的廣闊市場前景。

瞄準產業機遇，安徽省將MEMS智能傳感器作為半導體產業發展的重點。在本次大會上，安徽省智能傳感器產業創新聯盟舉行了成立儀式，擁有華東光電集成器件研究所、凱盛科技等MEMS研究所企業，蚌埠市已經成為中國三大傳感器研發制造基地之一。

千億級市場 地方政府爭相布局

MEMS傳感器正被廣泛應用于各類智能終端、智能汽車、生物醫療等眾多領域，需求量與日俱增。清華大學副校長尤政認為，我國MEMS產業正在迎來發展機遇。

小身材大市場。賽迪顧問副總裁李珂以汽車領域為例介紹，預計到2020年，中國的汽車電子市場規模將超過9000億元，其中傳感器的市場規模已經接近2000億元；未來幾年，汽車用傳感器市場將保持2位數增長，迅速達到4000億元規模。

“MEMS智能傳感器是一個非常重要的電子信息產業門類，也是我們所確定的五大高端芯片產業之一，我們要把MEMS智能傳感器作為重點來發展。”國家集成電路產業投資基金（簡稱“大基金”）總裁丁文武在致辭中透露。他介紹，近幾年，我國MEMS智能傳感器連續保持年均15%至20%的增長率。

安徽多措并舉加快智能傳感器發展。在本次論壇上，安徽省智能傳感器產業創新聯盟舉行了成立儀式，中科銥航公司和經開區管委會簽約基于5G的智慧交通大數據平臺項目等四個重大項目也進行了現場簽約。

據介紹，依托華東光電集成器件研究所（隸屬中國兵器工業集團）、凱盛科技等一批智能傳感器研發設計制造企業，蚌埠市已經成為中國三大傳感器研發制造基地之一，成為安徽省唯一同時擁有集成電路及MEMS晶圓生產線的城市。

看好產業前景，多地積極布局智能傳感器產業。今年8月，重慶市傳感器特色產業基地揭牌，重慶已經形成以川儀股份、中移物聯網等為代表的智能傳感器產業集群。10月份，鄭州市提出將在高新區打造一個3至4平方公里的中國(鄭州)智能傳感谷。陜西省也成立了傳感器產業創新戰略聯盟。

產業鏈初形成 上市公司多有突破

得益于消費電子、軍工等需求推動，MEMS傳感器正在迎來更快的發展，相關上市公司也開始嶄露頭角。

“除了軍工應用外，汽車、消費電子、環境感知可能將三分天下。”在本次論壇上，尤政介紹，傳統汽車中有200多個傳感器，其中80%都是由MEMS工藝來實現的；新能源車減少了燃燒相關傳感器，但增加了更多的電子系統傳感器，其成本占比更高。

“中國的MEMS產業鏈已經初步形成。”蘇州明皜副總裁錢春華介紹了中國MEMS產業現狀。在傳感器設計領域，除了蘇州明皜，他還提到了瑞聲科技、歌爾股份、敏芯股份、美新半導體、矽睿科技等。

蘇州固锝近日在接受調研時表示，蘇州明皜持續導入新客戶，新產品硅麥克風已經批量出貨。記者注意到，敏芯股份申請科創板上市已進入問詢階段，公司本次公開發行擬融資7.07億元。

錢春華介紹，在MEMS傳感器制造環節，國內相關公司有中芯國際、華虹宏力、耐威科技、華潤微電子，蘇州固锝、華天科技、長電科技等則具有相關封裝技術。

此外，部分初創公司、研究所已經崢嶸初現。比如，北京久好點子的壓力傳感器已廣泛應用到汽車、工業等領域。擁有獨特的SOI體硅工藝，華東光電集成器件研究所研發了一系列的產品，廣泛應用于車輛導航、姿態控制、平臺穩定等方面。在本次大會上，其發布了低成本MEMS陀螺儀，大量程、耐過載MEMS陀螺儀等多款產品。